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洁净室功能点评的通用要求、点评内容、点评定论与等级及检测陈述,包括洁净度、温度、相对湿度、风速、风量、静压差、照度、噪声等共性技能指标,以及气流流型、过滤器规范渗漏过滤率、微振荡、防静电、化学污染物、气密性等特性技能指标,为半导体洁净室的功能查验测验与点评供给了系统化、规范化的技能是根据,也为半导体企业挑选正真合适的洁净室供货商供给了重要参阅,有助于推进整个职业向更规范、高效的方向开展。
表明,作为该规范的中心参编单位之一,公司深度参加半导体洁净室规范系统的构建,显示了硬核的技能实力。