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11月18日上午,2025异质异构集成前沿论坛暨甬江实验室信息材料与微纳器件制备平台(以下简称“微纳平台”)验证线通线仪式举行,非常关注的微纳平台8英寸验证线正式通线。至此,甬江实验室正式建成国内领先、世界一流的全链条异质异构集成开放共享平台。
当天,镇海区区委书记、宁波石化开发区党工委书记(兼)林斌,市政府副秘书长(兼)、甬江科创区建设领导小组办公室常务副主任徐云,甬江实验室主任崔平,异质异构集成及半导体相关领域行业专家学者,共同见证微纳平台验证线异质异构集成前沿论坛,吸引了国内外相关领域的有突出贡献的公司和科研机构参会,各方围绕前沿成果、技术趋势和关键挑战进行了深入交流,探讨合作路径。
微纳平台是甬江实验室在电子信息材料与器件领域布局建设的重要公共科研支撑服务平台,也是甬江实验室迄今为止投入最大的平台。平台建筑面积12000平方米,其中洁净室面积6000平方米,配备包含165台(套)高端精密设备和一支规模达到60余人的运营团队。
平台聚焦“异质异构集成”特色方向,以国际一流水平的软硬件为支撑,为半导体行业提供从“科学发现—技术验证—工程实现”的全链条研发验证服务,并提供先进稳定的工艺设计套件和高工业参考价值的系统解决方案,致力于成为支撑前沿科学技术创新、引领微纳制造共性技术、赋能产研生态的开放、共享型科创服务平台。
林斌和徐云对论坛的成功举办和微纳平台验证线通线表示祝贺。林斌指出,微纳平台打破了“科学发现与工程转化”的壁垒,成为产学研协同攻关的“硬核支撑”,这将为异质异构集成技术突破提供关键引擎,为宁波乃至全国集成电路产业高水平质量的发展注入强劲动能。他表示,以此次论坛为纽带,镇海区将始终当好“首席服务官”,拿出最大诚意、最优资源、最佳服务,与专家共同深化科研合作,与企业家拓展合作空间,推动更多优质项目在宁波、镇海落地生根、开花结果。
徐云表示,甬江实验室微纳平台是甬江科创区“打造世界一流科创策源中心”的关键一环,此次8英寸验证线正式通线,是宁波科学技术创新发展的大事,将逐步提升宁波在微纳制造领域的工程验证能力,为新一代半导体产业原创研究和技术落地提供更高水平的公共服务与创新支撑。他希望甬江实验室持续构建原创技术“策源地”,营造高品质人才集聚“强磁场”,打造全链创新转化“加速器”,为宁波经济高水平质量的发展注入持续动能。
崔平对各位专家学者和领导的参会表示热烈欢迎。她指出,半个多世纪以来,摩尔定律始终指引着半导体产业的快速的提升。然而,随着晶体管尺寸逼近原子极限,传统“微缩”路径已难以为继,异质异构集成技术正是应对这一挑战的创新方案,也是实现半导体产业“变道超车”的重要战略机遇。甬江实验室信息材料与微纳器件制备平台正是基于这样的战略考量而建设的。
“不做特定赛道的竞争者,而是做前沿赛道的铺路人。”崔平表示,验证线英寸”的尺寸升级,更是从“概念验证”到“工程验证”的能力跃迁。甬江实验室微纳平台将始终秉持开放共享的原则,恪守中立精神,持续强化平台功能和服务能力,为高校院所和公司可以提供先进完备的基础设施和工艺验证支撑,加速创新成果转化落地,贯通创新链与产业链,推动形成协同高效的创新生态体系。
通线仪式上,来自高校院所、产业界的专家学者,以及市、区级有关领导共同见证了微纳平台8英寸验证线正式通线。随后,微纳平台负责人钟飞对平台做了介绍。“我们将以核心半导体技术为根基,支撑科研团队创新,把想法变成样品,解决量产前无处验证的产业痛点。”钟飞介绍道。
仪式同期还举办了异质异构集成前沿论坛,来自学术界、产业界的知名专家学者作主旨报告。中国电子信息产业发展研究院总工程师李宏伟,华润微电子首席专家李少平,国家特聘专家、浙江大学求是讲席教授、浙江大学微电子集成系统研究所所长储涛等多名专家作了分享,与参会代表一同探讨异质异构集成前沿技术和发展机遇。
正如崔平主任所说,孤木不成林,独弦不成音,甬江实验室构建的是一个开放共享的基础设施,一个中立可信的赋能平台,一个链接产学研用的创新枢纽——为产业提供最需要、最关键的“临门一脚”。
无论是Chiplet带来的系统重构、CPO光电共封装的深层次地融合、混合键合的原子级制造,还是Micro-LED等新器件的跨材料集成,甬江实验室都有能力、有信心与学界、产业界一道,积累关键验证数据,共同探索从中试走向量产的可行路径。