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洁净室的送风与回风份额并非固定值，而是依据洁净室的类型（非单向流或单向流）、洁净度等级、工艺技术要求等要素归纳确认。一般，非单向流洁净室的回风量约占送风量的70%至90%，而单向流洁净室的回风份额可高达90%以上。
非单向流洁净室（如万级、十万级洁净室）的回风份额一般为送风量的70%至90%，剩下部分为新风量（10%至30%）。详细份额需考虑以下要素：洁净度等级：洁净度要求越高（如千级、百级），回风份额一般越大，以削减外界污染并进步循环净化功率。新风需求：新风量需满意人员呼吸（每人每小时≥40m³）、补偿排风及保持室内正压的要求。工艺与负荷：设备发热量、人员密度等可能会影响风量平衡，需动态调整回风份额。
单向流洁净室的份额单向流洁净室（如百级洁净室）的回风份额更高，一般超越90%，新风量仅占2%至4%。其规划中心是经过高效过滤器完成单向气流，以快速扫除污染物，因而回风占比极高。
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